PR HOFFMAN 公司秉承严格的选料和精密的生产工艺,使得产品在半导体工业中处于领先的地位。
我们公司生产的无蜡抛光垫适用于单面抛光工艺中各种尺寸的晶片生产。
抛光垫内层采用了抛光微孔膜材料,此材料加湿后产生的附着力能把晶片吸贴在其上面。我们在此膜上面贴了一层带有晶圆孔的FR-4玻璃钢,是为确保加工晶片落在孔内。这样,抛光垫就能使所要加工的晶片在适当的压力和磨液流量下,在各个槽内自由转动。
PR HOFFMAN公司生产的抛光垫非常的平整。抛光垫内层贴有一层抗吸收、耐磨压的纤维层。整个抛光垫保持了很好的恒定弹性,来保证生产出平整的晶片。
每张抛光垫的背面都贴一层压敏胶,它能很好地适于抛光工艺生产中产生的各种应力。我们的抛光垫是在洁净、控制严格、避免任何可能沾圬的环境下进行组装的。
性能特点
- 平整性--抛光垫下面贴了一层抗吸收、耐压磨的纤维层。使得抛光垫能保持着整体的均匀弹性,从而生产出一批又一批平整恒定的晶片。
- 耐用性--专为抛光生产工艺选用的胶合剂层能保持很好持久的作用。
- 洁净--抛光垫是在洁净、严格控制、避免任何沾圬的环境下组装成的。
- 避免划伤避免划伤--我们通过预先磨光抛光垫上的FR-4玻璃钢层边缘的工艺,来避免生产上产生任何碎屑。
- 定量包装--抛光垫会被密封包装在耐用的塑料袋中。一个袋子装有一次用量(通常为4片)的抛光垫,来避免生产使用前的任何沾圬。
- 安装简便--抛光垫底层有一层压敏胶,使用时只需把压敏胶上面的纸揭去,把抛光垫贴到抛光盘上即可
- 尺寸通用--抛光垫适用于不同厂商生产的抛光机,并适用于各种标准直径规格的晶片。
技术数据 抛光垫材料及其应用信息。
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